全部作者	陳 美汝
論文名稱	Epitaxial AlN thin films grown on MgO substrates using Helicon sputtering system
研討會名稱	2013 International Electron Devices and Materials Symposium (IEDMS 2013)
舉行地點	中華民國南投縣
會議開始時間	2013-11-28
會議結束時間	2013-11-29
作者順序	第三作者