全部作者	陈 美汝
论文名称	单晶氮化铝薄膜于蓝宝石基板上低温沉积制程之最佳化研究
研讨会名称	2018 绿色能源研讨会
举行地点	中华民国桃园市中坜区
会议开始时间	2018-11-16
会议结束时间	2018-11-16
作者顺序	第二作者