全部作者	陈 美汝
论文名称	以砷化镓靶材沉积氮化镓薄膜于蓝宝石基板之研究
研讨会名称	2022 绿色能源研讨会
举行地点	中华民国桃园市中坜区
会议开始时间	2022-11-11
会议结束时间	2022-11-11
作者顺序	第四(以上)作者