全部作者	陈 美汝
论文名称	以二阶段法低温成长低差排密度氮化铝薄膜之研究
研讨会名称	2017绿色能源研讨会
举行地点	中华民国桃园市中坜区
会议开始时间	2017-12-15
会议结束时间	2017-12-15
作者顺序	第一作者